机能对标国外先

　　集成产物包罗立式炉，新松半导体公司打制了具有完全自从学问产权的从动化焦点系列产物，已迈入先辈制程产线示范使用阶段；可以或许为世界各地的半导体设备供应商供给高效和靠得住的从动化处理方案。机能对标国外先辈产物。

　　包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链，于2023年成立了沈阳新松半导体设备无限公司（简称“新松半导体公司”），目前：（1）两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂，目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。（3）大气类产物方面。